更新时间：2023-10-17 19:35
EMPA：电子显微探针是指用聚焦很细的电子束照射要检测的样品表面，用X射线分光谱仪测量其产生的特征X射线的波长和强度。由于电子束照射面积很小，因而相应的X射线特征谱线将反映出该微小区域内的元素种类及其含量。
EMPA--Electron microprobe analysis
电子显微探针是指用聚焦很细的电子束照射要检测的样品表面，用X射线分光谱仪测量其产生的特征X射线的波长和强度。由于电子束照射面积很小，因而相应的X射线特征谱线将反映出该微小区域内的元素种类及其含量。
利用特征X射线波长来确定元素的叫做波谱仪（WDS），利用特征X射线能量不同来展谱的就称为能谱仪（EDS）。
利用电子显微探针原理和技术来分析样品的仪器。
仪器构造：主要由电子光学系统（镜筒），X射线谱仪和信息记录显示系统组成。
1.电子光学系统
为了提高X射线的信号强度，电子探针必须采用较扫描电镜更高的入射电子束流，常用的加速电压为10-30 KV，束斑直径约为0.5μm。电子探针在镜筒部分加装光学显微镜，以选择和确定分析点 。
2.X射线谱仪
电子束轰击样品表面将产生特征X射线，不同的元素有不同的X射线特征波长和能量。通过鉴别其特征波长或特征能量就可以确定所分析的元素。利用特征波长来确定元素的仪器叫做波长色散谱仪（波谱仪WDS），利用特征能量的就称为能量色散谱仪（能谱仪EDS）。
1.点分析：用于测定样品上某个指定点的化学成分。
2.线分析：用于测定某种元素沿给定直线分布的情况。
将WDS、EDS固定在所要测量的某元素特征X射线信号（波长或能量）的位置上，把电子束沿着指定的方向做直线扫描，便可得到该元素沿直线特征X射线强度的变化，从而反映了该元素沿直线的浓度分布情况。
3.面分析：用于测定某种元素的面分布情况。
将WDS、EDS固定在信号位置上，电子束在样品表面做二维光栅扫描，便可得到该元素的面分布图像。
EMPA-Eidgenossische Material-prufungsanstalt
EMPA-European Metal Working Plantmakers Association
EMPA-Ex－ecative Master of Public Administration