更新时间:2024-09-20 11:02
PSD光电器件是一种光能/位置转换器件,由于位置量为模拟量输出,系统响应快,分辨率高,成本低,因此具有广泛应用的价值。同时可对目标信号进行调制,因而可以显著提高系统的抗干扰能力,可以用来实现高速、高精度、抗干扰能力强的位置检测系统。因而近年来采用PSD作为位置检测实现技术一直受到重视,并不断研究开发出新的应用技术。研究表明,PSD与CCD器件的最大不同之处是PSD光电位置信号与照射强度相关,以及PSD信号的非线性影响,因而PSD传感装置主要用于一维和二维位置量检测,直接用于D3定位和位置测量还有许多问题需要解决。
位置敏感器件PSD(Position Sensitive Detector)。PSD 属于半导体器件, 一般做成P+I+N结构,具有高灵敏度、高分辨率、响应速度快和配置电路简单等优点, 其弱点主要是非线性。其工作原理是基于横向光电效应。
PSD 的结构和工作原理
PSD 的工作原理基于横向光电效应。
PSD 由三层构成, 最上一层是P 层, 下层是N 层,中间插入一较厚的高阻I层,形成P-I- N 结构。
此结构的特点是I 层耗尽区宽,结电容小, 光生载流子几乎全部都在I 层耗尽区中产生,没有扩散分量的光电流, 因此响应速度比普通PN 结光电二极管要快得多。
当PSD 表面受到光照射时,在光斑位置处产生比例于光能量的电子—空穴对流过P 层电阻, 分别从设置在P 层相对的两个电极上输出光电流I 1 和I 2。
由于P 层电阻是均匀的,电极输出的光电流反比于入射光斑位置到各自电极之间的距离。
应用
作为新型器件, PSD 已经被广泛应用在位置坐标的精确测量上, 如: 兵器制导和跟踪、工业自动控制、或位置变化等技术领域上。