在废水处理中，曝气器对液体供氧的能力称为充氧能力，以kg/(m3·h)计（10℃或20℃，101.3kPa）。每千瓦小时内液体的充氧能力称为充氧效率。表面曝气器在清洁的脱氧水中的充氧效率约为2.5kg/(kW·h)，但在混合液曝气时降至1.8kg/(kW·h)。微气泡曝气在清洁的脱氧水中的充氧效率约为4kg/(kW·h)，但在混合液曝气时降至1.8kg/(kW·h)。另外，它还可指溶氧与供氧之比，以百分率表示。在清洁的脱氧水中，微气泡曝气的充氧效率约为15%～20%，大气泡曝气为5%或5%以下。