功能测试之后,单块ic必须从衬底上分离出来，利用划片锯(切割刀)或划线剥离技术将晶片分离成单个芯片。

此法要求晶片在精密工作台上精确定位，然后用钻石划片器或金刚石划线器在X和Y方向按图案规则划片，实际上是沿着75~250um宽的空白边界划片。划片器或划线器在晶片表面划出了一道浅痕,实际是划断了晶片的晶向组织。之后从工作台上取下划好的晶片,将其反置放在一个柔性支撑垫上，用圆柱滚筒向其施加压力，使晶片顺着划痕处断开，芯片得以成功分离。这一切必须以对单个芯片损坏最小的要求完成。

另一个使锯片法(切割法)。厚晶片的出现使得锯片法(切割法)成为划片工艺的首选。锯片机(切割机)由可自动旋转的精密工作台，高速空气静压电主轴(最高转速达60,000rpm)，自动划痕定位系统，自动对准对刀和位置辅正装置系统CCD Camera，显示监控系统和工业控制计算机等组成。此工艺使用了两种技术，且每种技术都用锯片(刀片)从上面划过。对于薄的晶片，锯片(刀片)降低到晶片的表面划出一条深入1/3晶片厚度的浅槽。芯片分离方法仍沿用划片法和钻石划线法中所述的圆柱滚轴施压完成。