化学机械抛光

更新时间:2022-04-12 11:00

化学机械抛光是1993年全国科学技术名词审定委员会公布的电子学名词。

出处

《电子学名词》第一版

公布时间

1993年,经全国科学技术名词审定委员会审定发布。

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