更新时间：2021-01-22 21:03
半自动探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的分析仪器，于2004年3月17日启用。
支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4个SMU接口，可同时输出（测量）四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 测量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。
通过和外接的测试仪器4156C以及温度控制设备TP03000A的连接，组成一个测试平台，完成对器件封装前的电性能测试（电阻，C/V,击穿特性等）。