更新时间:2022-06-23 18:40
单片集成电路是独立实现单元电路功能,不需外接元器件的集成电路。要实现单片集成,需要解决一些不易微小型化的电阻、电容元件和功率器件的集成,以及各元件在电路性能上互相隔离的问题。
名称: 单片集成电路 (monolithic integration)
主题词或关键词: 信息科学 砷化镓 集成电路
单片集成电路从小、中规模发展到大规模、超大规模集成电路,使平面工艺得到相应的发展。如掺杂技术由扩散改为离子注入,常规紫外光刻发展到电子束曝光、等离子体刻蚀和反应离子铣,常规气相外延改为超高真空分子束外延,采用化学气相沉积制造二氧化硅和多晶硅膜等。单片集成电路除向更高集成度发展外,也正向着线性、大功率、高频电路和模拟电路方向发展。