其固态微波源有晶体管、晶体管与倍频器组合的微波源和利用半导体材料本身效应的微波源两种。为获得大功率，一般将多个单微波源排在相控阵天线的阵面上，由每个功率源激励一个天线单元，使这些源在空间相加，并采用固态功率放大器、集成微波接收机和集成移相网络等。固态雷达体积小、功能多、机动性强、可靠性高，可作为机载、舰载和地面雷达。