更新时间：2021-01-05 19:47
大型金相显微镜是一种用于工程与技术科学基础学科领域的分析仪器，于2016年4月6日启用。
1. 发射源：肖特基（Schottky）热场发射电子枪 2. 分辨率: 20KV时1.3nm；15KV时1.5nm；1KV时2.8nm 3. 加速电压：0.1V-30KV 4. 放大倍数：12倍～1,000,000倍 5. 探针电流：4pA-20nA；束流稳定性优于0.2%h 6. 样品台移动范围：X-125mm;Y-125mm;Z-50mm 7. 配EBSD和EDS探头。
扫描电镜主要是利用二次电子、in-lens、ABS探头对材料微区进行观察与分析（几何形貌、分布及尺寸）。能谱仪主要是配合电镜在材料微区表面做点、线和面的元素分布分析。电子背散射衍射仪可以用来表征材料的取向分布度（OIM）、取向衬度图（OCI）、相鉴定（PI）、面扫描（Mapping）、晶粒形貌分析、晶粒结构分析（极图、反极图和ODF图）、晶界特征分析、应变分析等。