按驱动类型分类：

一、丝杠驱动定位平台

（1）普通丝杠驱动

（2）滚珠丝杠驱动

（3）交叉滚柱丝杠驱动

二、直线电机驱动定位平台

（1）无铁心直线电机

（2）有铁心直线电机

三、陶瓷电机驱动定位平台

（1）直线定位

（2）旋转定位

四、同步带驱动定位平台

（1）同步齿形带驱动

五、齿轮齿条驱动定位平台

（1）齿轮齿条驱动

按精度分类

一、纳米级定位平台

（1）1-50纳米

二、高精度定位平台

（1）0.5-1微米