1989年2月，原无线电材料与器件系划分为两个单位：半导体材料与器件专业建成微电子科学与工程系；电子材料元器件、磁性物理与器件、应用化学3个专业建成材料科学与工程系。1992年7月在原电子材料工程系基础上成立信息材料工程学院，下设电子材料工程系、磁性工程系、应用化学工程系。2001年11月由微电子科学与工程系与信息材料工程学院合并成立微电子与固体电子学院，下设微电子科学与工程系、信息材料科学与工程系、应用化学系。 目前，微电子与固体电子学院拥有国家级研究基地2个（国家集成电路设计成都产业化基地、国家IC人才培养基地）；4个省部级重点实验室及工程中心（教育部隐身材料工程技术中心、信息产业部电子信息材料重点实验室、信息产业部功率器件与智能功率集成电路重点实验室、信息产业部大规模集成电路设计重点实验室）；3个“211工程”建设的研究机构（电子信息材料及应用基地、新型电力电子器件应用实验室、大规模集成电路设计中心）；4个研究平台（材料与器件制造工艺平台、微细加工平台、电磁性能测试与微结构表征平台、集成电路设计平台），提供了良好的研究平台;此外，学院还拥有从事教学、研究、开发、设计的电子科大集成电路设计中心、材料微观分析中心、纳米技术中心等多个专业教学实验室和研究实验室。以上研究机构的研究领域覆盖了当前微电子与固体电子学的主流方向。