如图《扩散法分离器》所示。分离器内部的S形盘管是由具有微孔的分离膜制成的。由于UF6气体是被压缩机送入分离器的，通过压缩机压缩后，气体的温度会比较高。因此经过入口流入后，首先要经过蒸发式冷却器的冷却。冷却器设置在分离器的内部，是管束型蒸发器。冷却的介质是液态的水，通过蒸发液态水带走热量。

经过冷却后的UF6气体随后进入S形盘管扩散膜。在管内会经过3段流程。最靠近外壳的是从右向左流动的流程1，到了最左侧后，经过1-2拐弯，进入从左向右的流程2。到了右侧的管板处后，又经过2-3拐弯进入流程3。通过流程3后由B流出口流出，进入下一级的入口。而通过扩散膜后被富集了的气流从A流出口流出，进入上一级的入口。

在气体扩散工厂，会有几千级的分离器级联起来，表 列出了美国的某分离工厂的各级分离器的一些参数。