更新时间：2021-11-27 21:46
扫描曝光方式的电子束曝光系统或者激光曝光系统中，偏转器的偏转范围有限，需要设定一定大小的扫描宽度，在这个范围内可实施偏转畸变校正，这个扫描曝光的范围称为扫描场。
场与场之间的拼接靠台面的精密移动实现，为了保证曝光的拼接精度，通常还在偏转区内设定更小的子场，子场之间的图形拼接精度控制偏转系统实现，扫描场的大小由扫描模式确定。