简介

矢量扫描EBL系统，用来提高产能，是一种采用定向电子束只对要曝光的芯片部分进行扫描方法。在此方法中，每个需要曝光区域的数字位置被送给x,y数/模转换器（DAC），电子束只指向那些需要曝光的像素。必须事先用软件将像素按顺序排好，以便将电子束偏转所需的时间减小到最小。矢量扫描系统还有第二个优于光栅扫描的重要优点。忽略系统相差和非线性后，图形地址的精度简单地取决于数字的字长。对于矢量扫描系统来说，在决定系统产出量时，DAC的速度起着决定性作用。