更新时间：2022-05-27 23:05
探针测试台是一种用于机械工程领域的计量仪器，于2015年11月01日启用。
载物台：6英吋（150mm）、低噪声、不锈钢表面、三轴同轴电缆联接；X、Y最大移动距离6 x 6英吋，灵敏度：每度40微米；测试漏电电流最低可以达到10-12A；被测器件是以载物台被抽真空的方式固定在上面。
用于中试封装之前的芯片的性能测试。其包括IV测试仪与探针台两部分，IV测试仪主要用于提供电压和电流激励信号给器件，并测试反馈回来的信号以确定器件的性能，探针台则为器件和IV测试仪之间提供物理信号的接驳。