更新时间：2023-12-24 16:38
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s
漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s
启动时间： ≤5min
响应时间： ＜2S
检漏口最高压力： 300Pa
极限真空： 5×10-4Pa
外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）
重量：46KG
1.采用便携式设计
2.设备外型美观小巧
3.采用液晶触摸屏设计
4.有通讯接口
5.可以方便地将检漏数据输出
环境温度：5～35℃
相对湿度： ＜80%
供电电压：单相交流220V±10%，50Hz最大工作电流：10A
JSJ-242型氦质谱检漏仪
BW-930C型是一款分体式检漏仪。
设备内芯制造借鉴国外先进技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 启动时间：≤5min
4. 响应时间：≤1s
5. 检漏口的最高压力：1500Pa
6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A
7. 工作环境：5-35℃
8. 相对湿度：≤80%
9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）
10. 重量：64kg
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱专用模块
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。