沈阳芯源微电子设备有限公司成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所引进国外先进技术投资创建，致力于研发制造高端半导体生产设备并提供相关服务，为客户提供专业、精良的设备和创新性的工艺解决方案。芯源公司占地2万平方米，拥有员工180人，技术人员占70%，拥有高等级净化厂房、现代化办公环境和开拓进取的技术团队，已通过质量、环境、职业健康安全管理体系认证，产品已通过半导体行业SEMI-S2认证。

芯源公司自主开发的单片匀胶机、显影机、喷胶机、去胶机、清洗机、湿法刻蚀机等设备广泛应用于半导体、先进封装、MEMS、LED等领域。

1.LED领域匀胶显影机：应用于LED芯片制造、PSS（图形化衬底）、MEMS、HCPV（高聚光型太阳能电池）、Waveguide（光波导）工艺的匀胶显影等工艺制程。