微波加热设备主要由电源、微波发生器、波导管、微波加热器以及冷却系统组成。微波发生器中的微波管将直流电能转换成微波能量，微波能量通过连接波导传输到微波加热器，对物料进行加热。冷却系统对微波管的腔体及阴极部分进行冷却(冷却方式为风冷或水冷)。微波发生器产生微波的器件主要是速调管及磁控管。微波加热器的结构主要取决于微波传输过程所产生的现象，如传输线终端接匹配负载产生行波场。传输线终端短路或开路产生反射和驻波现象。故微波加热器可分为四大类:即驻波场谐振腔型加热器、行波场波导型加热器、辐射型加热器和慢波型加热器。