固体样品制成片状置于样品台上，样品表面处激光束聚焦点上。使用红宝石激光器进行一次激光轰击，能在样品上产生一个直径很小深坑，消耗样品让等离子体气流过样品表面，再经一导管导入等离子炬，样品在焰炬中电离。激光烧恤所用激光器为大功率、高重复激光器，大面积采样。这样采样均匀性好，而且不受样品种类限制。采用激光烧蚀质谱技术，可以对样品微小区域进行分析。