1. 激光器：二极管泵浦固体紫外激光器，激光到工作台面输出功率大于等于5.6W。质保10000小时，或按照合同规定质量保证期为12个月，以先到者为准。 2. 交工幅面：大于等于A4纸。 3. 加工材料：FR-4、PI、LCP等有机材料，LTCC、氧化铝/氮化铝等陶瓷材料、硅片，也可用于基板阻焊掩膜开窗。 4. 可替代电路板曝光机使用。 5. 孔径深比：1:1。 6. 打孔速度：大于6000个/min。 7. 孔圆度：大于75%。 8. 最小盲孔孔径：50um。 9. 工作台面X/Y方向分辨率：0.5um。 10. 孔质量定性指标：孔底部铜面上无树脂残留，小于3um以内的底铜损伤。 11. 聚焦光斑：小于20um。 12. 激光器重复频率调节范围：10K-100KHZ。 13. 重复精度：±2um。 14. 扫描区域分辨率：2um。