随着1941年6月对苏联的入侵，纳粹开始系统地大规模谋杀犹太人。起初，成千上万犹太人遭别动队及其他团队枪杀。但纳粹很快就觉得，这种方法效率低下，他们转而寻找其它谋杀方法。不久，奥斯威辛和其它营地就开始了毒气实验。纳粹领导人注意到，毒气用于大规模屠杀行之有效，遂下令建造灭绝营，在那里用毒气杀害犹太人。

灭绝营建在德国于1939年占领的波兰地区。它们包括奥斯威辛的比克瑙部分（奥斯威辛二处）、海乌姆诺、贝乌热茨、索比堡和特雷布林卡。一些研究者还把有360,000名受害者的马伊达内克包括在内。

第一个建造起来的灭绝营是海乌姆诺，它位于罗兹附近，于1941年12月8日投入使用，1944年夏停止运行。受害者为毒气车所杀，约320,000人在那里遇害。

奥斯威辛既是集中营又是灭绝营。其灭绝营部分位于比克瑙，于1942年3月落成，最终在1944年11月关闭。在其两年半的运行中，约有一百万犹太人在使用齐克隆B毒气的毒气室中遇害。此外，成千上万吉普赛人和苏联战俘也在那里遇害。

贝乌热茨、索比堡和特雷布林卡都作为赖因哈德行动的一部分于1942年建成。贝乌热茨从1942年3月运行到12月，其间有600,000名犹太人在此遇害；索比堡从1942年4月运行到1943年10月，有250,000人受害；特雷布林卡从1942年7月运行到1943年8月，有870,000人被杀。这些营地的遇害者是因一氧化碳窒息而死的。

但是在实现“最后解决”方面，取得进展最大的正是在灭绝营中。最大的也是最出名的灭绝营是奥斯威辛，它有四个大毒气室和附设的火葬场，处死和焚化的能力远比特莱勃林卡、贝尔赛克、锡比堡和切尔诺等其他集中营为高。它们都是在波兰境内。在里加、维尔纳、明斯克、考那斯和利沃夫附近，还有一些规模较小的灭绝营，它们与大的几个营有一点不同，就是用枪杀而不用毒气。

送往毒气室去的死难者是被“挑选”出来的。之所以要挑选，是由于并不是所有囚犯都要消灭——至少不是立刻消灭，因为要把其中一些人送到伊·格·法本化学厂和克虏伯工厂去做工，直到他们耗尽了精力，够上“最后解决”的条件时为止。

有时候对少数“特别囚犯”则干脆注射石脑油杀死。集中营纳粹医生奉命要填写一般的死亡证明书，当然死亡原因一项随便怎么填上都可以。

“挑选”哪些犹太人去劳动、哪些犹太人立即用毒气熏死的工作，是在被害人一下货车，就在铁路的岔道上进行的。他们被锁在货车里，既没有饭吃又没有水喝，有的长达一星期——因为许多人是从法国、荷兰、希腊那样遥远的地方运来的。虽然出现了夫妻、子女被强行拆散的悲惨情景，但是正如幸存的人所说，他们谁也想不到自己将落到怎样的下场。事实上有些人还拿到印有注着“瓦尔德湖”字样的美丽的风景明信片，要他们签上字寄给亲人。明信片上印有这样的话：

我们在这里过得很好。有工作做，待遇也不错。我们在等待你们的到来。

从近处看，毒气室以及附设的焚化场丝毫不是外表可怕的所在；你怎么也看不出这会是这样一个所在。上面是修整得很好的草地，草地四周还种上花；入口处的牌子上写有“浴室”字样。对此毫不生疑的犹太人以为德国人只是把他们带到浴室来消灭虱子，因为在所有集中营消灭虱子是很普遍的事情。而且他们在进去时还有美妙的音乐伴奏哩！

此时演奏的是轻音乐。德国人从囚犯中挑一些人组成了一个乐队，参加乐队的都是年轻貌美的女郎，她们一律身穿白衬衫和海军蓝的裙子。在挑选送进毒气室的人时，这个独特的乐队就奏起《快乐的寡妇》和《霍夫曼故事》中的轻松曲调。她们不演奏庄严的、沉重的贝多芬作品。奥斯威辛的死亡进行曲是直接选自维也纳或巴黎轻歌剧的轻快欢乐的曲调。

伴随着这些令人回忆起幸福和快乐年华的音乐，男女老幼被带进“浴室”，一到里面，就有人要他们脱下衣服准备洗“淋浴”，有时还领到毛巾。然而等他们一走进“淋浴间”，这才开始看出有些不对头了，因为多至两千人像沙丁鱼似地被塞进了这个房间，根本无法洗澡。这时重实的大门马上推上了，加了锁，还密封起来。死亡室的顶上砌有蘑菇形通气孔，它们给修整得很好的草地和花坛掩盖得几乎一点也看不出来。这时勤务兵们站在这些气孔旁边，准备好一接到命令，就把紫蓝色的氰化物或称“齐克隆B”的结晶药物投下去。

有一个时期，指挥勤务兵们把药物投下去的是一个名叫莫尔的中士。“好吧，给他们点东西尝尝。”他说完就会大笑一阵，药物就从气孔里倒进去，倒完马上把气孔封上。

刽子手们通过门上装着厚玻璃的窥视孔可以看到里边的情况。这时下面那些赤身露体的囚犯们有的仰头望着滴水不出的莲蓬头，有的望着地上在纳闷，为什么看不到下水道。毒气发生效果需要过一些时间，但是囚犯们不用多久就看出毒气是从上面的气孔放下来的。这时人人都吓慌了，一齐向离管子远的地方拥去，最后冲到巨大的铁门旁边。在大门附近，他们堆成了一个金字塔，人人身上发青，血迹斑斑，到处湿漉漉的。他们互相抓着、掐着想爬过去，一直到死还不松手。

大约二、三十分钟以后，这一大堆裸露的肉体都不动弹了，抽气机把毒气抽掉，大门打开，“特别队”的人员进来接手工作了。这些“特别队”员都是被囚禁的犹太男子，营部答应他们免于一死，并给以足够的食物，作为他们做这种人间最可怕的工作的报酬。他们工作时都戴上防毒面具，穿上胶皮靴，手拿水龙头。

当时德国商人为了争夺建筑这种屠杀和处理尸体的新设备和供应这种致人死命的蓝色结晶药物，曾经展开了激烈的竞争。艾尔福特的制造加温设备的托夫父子公司在投标建造奥斯威辛的火葬场时，获得了成功。

做这种骇人听闻的生意的，在德国不只是托夫父子公司这一家。其他许多集中营对死尸的处理，也曾引起商业竞争。例如，柏林的第迪尔工厂曾投标在贝尔格莱德一个纳粹集中营装置一座焚尸炉，并且自称这座炉子可以生产十分优良的产品。

另外一家钻营贝尔格莱德这种生意的公司是科里公司。它强调在这方面有极丰富的经验，因为它已为达豪建造了四座焚尸炉，为卢布林建造了五座，它们在实际运用中都令人十分满意。

德国的自由企业尽了极大努力，利用上等材料，提供精湛的技术，还是满足不了焚烧尸体的需要。在许多集中营，结构完善的焚尸炉远远赶不上需要，尤其是1944年的奥斯威辛集中营，它每天要焚毁6000具的尸体。仅在1944年夏天的46天中，这个集中营杀死的匈牙利犹太人就达25万至30万名。甚至毒气杀人室也赶不上需要，而不得不用特别的行动队的办法进行集体扫射。尸体干脆扔入壕沟焚烧，其中许多尸体只烧毁了一部分，然后就用推土机推上土埋起来。到最后，集中营长官都抱怨焚尸炉不仅不敷应用，而且“不经济”。

用来杀死受难者的“齐克隆B”结晶药物是由两家德国公司供应的，它们都从伊·格·法本化学公司取得了专利权。这两家公司就是汉堡的特奇—施塔本诺夫公司和德骚的达格奇公司；前者每月供应2吨氰化物结晶体，后者每月供应0.75吨。

在这种灭绝人性的死亡集中营里，到底屠杀了多少不幸的、无辜的人？人们将永远无法知道它的确切数字。这些人中大多数是犹太人，但也有许多别的人，特别是苏联战俘。

在希特勒眼中，犹太人和斯拉夫人都是劣等民族，他们根本无权活在世上，必须永远从地球上消失。于是，希特勒便用各种方法杀死他们，其中最惨绝的便是集中营。

纳粹德国设立的遍布各国的30多个主要集中营全部都是死亡营，好几百万平民及战俘都在这里挨饿，最后死在这里。