更新时间：2022-07-10 17:34
电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器。
具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。
主要用于解决下述各种测量问题：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
该传感器还可与控制室中的二次仪表或控制器相连，在线、连续、实时的检测各种数据然后直接显示，远程控制和报警。实现数据存储，积算、传输和控制功能。广泛应用于各种注塑机中。
电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。
量程：20～1250μm；
分辨率：<0.1nm；零磁滞；
线性最高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；
灵敏度可调：5～125μm/V；
真空兼容选项；
非接触式测量方法；