监官最早设于战国，当时由君主的秘书——御史兼任。

秦与西汉设立御史府，首长是御史大夫，御史中丞为辅佐。在内廷保管档案并督促百官的，称侍御史；出外监察郡县的称监御史。遇有特别紧急情况的，皇帝临时派遣有诛杀之权的御史，称为绣衣御史，或称绣衣直指。西汉末年，御史大夫改为大司空，御史府改为御史台，御史中丞为长官，转属少府，成为专门的监察机关，别称宪台。从此之后，御史为监察官的专称。

魏晋以后，御史台从少府独立出来，成为全国性的监察机构。

隋代御史台由御史大夫一人，治书侍御史二人，侍御史八人，殿内侍御史、监察御史各十二人，录事二人等组成。

唐代御史台分为三院：即台院、殿院、察院。

元代在御史台以外，尚有江南诸道行御史台及陕西诸道行御史台，以监察诸省。