更新时间：2024-07-11 09:27
硅基半导体材料（silicon based semiconductor materials）是以硅材料为基础发展起来的新型材料。
释义
包括绝缘层上的硅材料、锗硅材料、多孔硅、微晶硅以及以硅为基底异质外延其他化合物半导体材料等。