更新时间：2022-06-01 17:03
磊晶（英语：Epitaxy），是指一种用于半导体器件制造过程中，在原有晶片上长出新结晶，以制成新半导体层的技术。此技术又称磊晶成长（Epitaxial Growth）；或指以磊晶技术成长出的结晶，有时可能也概指以磊晶技术制作的晶粒。
主条目：化学气相沉积
在高度真空下在表面沉积新的半导体结晶层的技术。 参见真空蒸镀技术。
Jaeger, Richard C.. Film Deposition. Introduction to Microelectronic Fabrication. 2nd. Upper Saddle River: Prentice Hall. 2002. ISBN 0-201-44494-1.