更新时间：2023-01-16 22:11
离子束增强沉积是2005年公布的材料科学技术名词。
电子束蒸发或溅射沉积薄膜的同时，用一定能量的离子束进行轰击，以在衬底上形成具有特定性能表面覆盖层的技术。
《材料科学技术名词》。