电子束分辨率（Resolution）：3 nm@1 KV，3 nm @30 KV；离子束分辨率：7 nm@30 KV；沉积金属铂（Pt）；金属和非金属增强刻蚀。 沉积金属线条最细优于40nm；刻蚀线宽最细优于20nm。 仪器主要功能（Functions）：用离子束刻蚀、沉积（金属）、亚微米级线条和图形；电子束曝光技术进行微结构加工；用电子束对加工过程进行实时观测。