定义 ： 用螺旋波激励的等离子体称螺旋波等离子体。

原理：

螺旋波是一种在磁化等离子体中传播的电磁波。它沿磁场方向传播，是圆偏振的，其回旋方向与载流子在磁场中的回旋方向相同。这种波使得磁力线发生扰动，变为螺旋形的线，故称为螺旋波。螺旋波是色散的，其相速度及群速度均与频率的平方根成正比。用螺旋波激励的等离子体称螺旋波等离子体。实验表明，螺旋波等离子体的最大密度在10Pa的压强下可超过10cm，电离效率最高可达100%。

作用：

这种等离子体具有超常的电离效率，并且是通过外电极放电，因此特别适用于各种低气压等离子体工艺。研究表明，在所有可能在等离子体中传播的波中，螺旋波具有最佳的相速度，使电子通过朗道吸收而被迅速地加热到最佳电离能，从而产生最大的电离密度。