更新时间：2022-01-09 10:10
表面复合是指位于半导体表面禁带内的表面态(或称表面能级)与体内深能级一样可作为复合中心,起着对载流子的复合作用。为此，通常把半导体非平衡载流子通过表面态发生复合的过程称为表面复合。与体复合相比表面复合更为复杂,它不仅依赖于表面复合中心浓度及体掺杂浓度，还依赖于表面势。
表面复合（Surface recombination）：
表面复合就是半导体少数载流子在表面消失的现象。由于半导体表面是晶格的终止面，将引入大量的缺陷，这些缺陷也就是载流子的产生-复合中心；并且由于沾污等外界因素的影响，还更增加了产生-复合中心。所以，半导体表面具有很强的复合少数载流子的作用，同时也使得半导体表面对外界的因素很敏感，这也是造成半导体器件性能受到表面影响很大的根本原因。
表面复合的强弱通常用所谓表面复合速度来表征，这就是说，表面复合就相当于载流子以一定的速度流出了表面；表面复合速度的单位是cm/s。