应用

如微电子、半导体工业，要制备高性能半导体器件或超大规模集成电路器件，要求提供纯度非常高的金属或元素，如锗、铟、镓、硅，纯度达99.999％以上，作为半导体材料；制备大规模集成电路，要求有超纯气体、超纯水和其他化学品。使用的超纯气体达多种，纯度达99.999 9％以上，每升气体中粒径大于0.5微米的尘粒数应少于3个。

不同的产品要求的气体不同。如氩–氮混合气用于电光源中钨丝的还原；氙–氖或氩–氦混合气用于霓虹灯充气。用于芯片加工保护、掺杂、刻蚀、离子注入等工序的气体或混合物达300多个品种。随着刻画芯片的线条宽度愈窄，要求药品的纯度愈高。制集成度为1兆巴的集成电路，允许水中微粒的粒径小于0.1微米。在原子能工业中，核燃料、反应堆的核材料要求纯度也很高，其中含吸收中子的材料的浓度也很低。如作为核燃料棒包壳的金属锆，含铪的浓度应很低。