1.电子束光刻的低能粗超度分析，由于许多高校实验室，通过改装电子束扫描显微镜，来进行实验性的小批量电子束光刻，由于其仪器限制，只能产生低能电子束，于是导致低能下，其光刻图样波动性加大，需要对其理论分析，指导实验的参数设定。

2.电子与固体表面的非弹性相互作用，电子在通过固体表面时，其非弹性平均自由程会随着电子的深入变化，于是通过电磁理论分析，得到非弹性平均自由程随深度，入射角度，入射能量的变化，这样可以更深入的了解电子在固体表面运动的物理过程。