1675年夏，鄂齐尔图车臣汗让楚琥尔乌巴什和辉特部的阿勒达尔和硕齐（卫拉特蒙古辉特部首领卫征和硕齐之父）率领7000人，开往阿尔泰额尔齐斯，收拾投顺噶尔丹洪台吉的那几位大台吉。他们的队伍推进到乌陇古、布拉干和青格勒一带，收降了游牧在那里的杜尔伯特阿勒达尔台什、丹漳洪台吉和衮布台吉，并带到和博克沙里和塔尔巴哈台，进行安罝。鄂齐尔图车臣汗的这次军事行动是谨慎而有限的，他无意与噶尔丹发生直接冲突。事后，他 却深感不安，惟恐噶尔丹采职报复措施。于是，鄂齐尔图车臣汗以哈丹诺延为特使，前往青海，准备与和硕特诸台吉商量应变对策。1675年秋，哈丹诺延在半路中被噶尔丹属下截获，其使命败露。迫使噶尔 丹不得不进行全面作战的准备。1675年冬，噶尔丹率领大批人马，自喀喇额尔齐斯移至和博克沙里过冬。1676年正月二十四曰，噶尔丹以玛罕为先锋，越过齐尔山的骆驼脖子岭，向叶密立草原挺进。正在喀喇布和里克过冬的鄂齐尔图车臣汗，事先壹无准备，在慌乱之中，向西北撤至爰古斯河一带。其部众也四处逃散，失去了控制。在爱古斯河谷虽集结了不少人马，但鄂齐尔图车臣汗缺乏决战的勇气。他们惟 恐嗅尔丹的军队跟踪追击，又从爰古斯河谷向西南转移，越过博尔塔拉以北的阿拉套山脉，向伊犁之东的塔拉竒岭赶来。

1676年夏，鄂齐尔图车臣汗、额尔德尼洪台吉、楚琥尔乌巴什等率领万余人，到达辉特部所在地裕勒都斯河（今和静县境内 ）。鄂齐尔图车臣汗一筹莫展，在裕勒都斯逗留了几个月。噶尔丹探得车臣汗的去向后，决定对 他采取怀柔政策。便派人劝他返回伊犁，鄂齐尔图车臣汗别无选择，只好返回伊犁。1676年十月，在赛里木湖以南的乌力吉图布木一带，鄂齐尔图车臣汗归降。因为鄂齐尔图车臣汗为噶尔丹之妻阿奴的祖父，又为替其兄僧格报仇的有恩之人，所以噶尔丹非常重视鄂齐尔图车臣汗的归降。故将古鲁克辛一鄂托克人畜，全部赏给鄂齐尔图车臣汗，以便让其安虔晚年。噶尔丹又派人前往额济勒土尔扈特和喀尔喀 土谢图汗处，让多尔济拉布坦和罗卜藏衮布阿拉布坦速回准噶尔，与车臣汗团聚。不久，他们陆续回到准噶尔。1680年冬，鄂齐尔图车臣汗于博尔塔拉病逝。

鄂齐尔图车臣汗归降时，楚琥尔乌巴什也在其中。噶尔丹将其长期软禁。其子巴哈班第参与暗害僧格的阴谋，故将他处以死刑。

此时，噶尔丹已完全控制了卫拉特全境。噶尔丹洪台吉颁布了一些法令，其内容涉及办案、卫拉特人和南疆回部的纷争、婚事以及对人贩子的处理等项具体条文。与此同时，噶尔丹取消了各自为政，互不统属的传统的松散的卫拉特联盟，还职消了各部族长的权力和各部大小洪台吉、克什(太师)、济农等称谓。在完善和加强鄂托克编制的基础上，将部族长的权力分散到各鄂托克宰桑手里。噶尔丹的一切指示 和命令，直接传达到各鄂托克宰桑处，由宰桑具体执行，并向噶尔丹负责。噶尔丹将各鄂托克的支配权，高度集中在自己手里，从而完成了联盟制向国家政权的过渡。

1678年噶尔丹获得了五世达赖喇嘛所赠 “噶尔丹博硕克图汗” 之号（历史关系：噶尔丹1670年底离开拉萨时，达赖赠他博硕克图的佳号，蒙古语意思大约是灵异者，1676年他成为卫拉特汗，后来通过联系获得达赖的新赠号，因为蒙古族信黄教，大喇嘛的赠号有利于提高其荣誉）。为此，噶尔丹博硕克图汗举行了隆重的大典，喀尔喀札萨克图汗成衮也前来参加。准噶尔汗国就这样形成（内蒙古社科院历史所《蒙古族通史》，民族出版社，2001年发行版）。