重庆微光机电工程技术研究中心

更新时间:2022-12-24 15:53

重庆微光机电工程技术研究中心依托于重庆大学,主要合作单位有中国电子科技集团公司第二十四研究所等。中心主要从事MEMS设计、研发及加工关键技术研究、产业化转化和人才培养。

中心简介

重庆微光机电工程技术研究中心依托于重庆大学,主要合作单位有中国电子科技集团公司第二十四研究所等。中心主要从事MEMS设计、研发及加工关键技术研究、产业化转化和人才培养。

研究成果

中心承担和完成了国家“863”MEMS重大专项、国家“973”“微光机电系统”、总装备部“微米/纳米专项”、国家自然科学基金委“重大项目”、国家“科技攻关”和重庆市“科技攻关”等国家和省部级项目40余项,经费近3500万元;和德国政府科教部已签订达1250万欧元的合作研究项目。研制出的“微型光谱分析系统”、“微型生化光谱分析仪器”达到国际先进水平,现在正在产业化研究开发和试生产。“基于MEMS的人体腔道诊疗系统”样机已完成动物实验,进入临床实验阶段。申请专利近40项,发表论文200余篇;已形成具有自身特色的研究方向、在国内外具有重要影响的微光机电系统技术研究和产业化的工程中心。

先进技术

中心建立了面向西南地区的“MEMS器件及系统设计开发联合开放实验室,拥有国际先进的MEMS和CMOS电路设计及模拟软件,MEMS传感器及微型分析仪器的组装和测试设备。中心以中国电子科技集团公司第二十四研究为核心的中心加工平台已成为国内IC和MEMS器件集成的加工的重要平台,现有一条 4英寸2μm CMOS生产线,一条6英寸0.8μm BiCMOS生产线正在试运行中。

对外服务能力

MEMS传感器的器件模拟仿真

MEMS传感器的系统级模拟仿真

MEMS加工工艺仿真

MEMS器件和系统的加工

MEMS器件和系统的检测

MEMS技术咨询

MEMS技术研发与管理的高层次人才的培养

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