又称填隙子，是点缺陷的一种，是原子脱离其平衡位置进入原子间隙而形成的。如果在点阵的间隙位置挤进一个同类的原子，就形成了一个自间隙原子；如果外来的杂质原子挤进了点阵的间隙位置，就形成了间隙式杂质原子。间隙原子在离子晶体的导电和扩散中起着重要的作用，因为间隙杂质原子的存在会造成其附近的晶格畸变，整个晶体倾向膨胀。一般来说，间隙杂质原子在晶格间隙间迁移时所需的激活能比较小，因此扩散速率比较快。从电学性质上看，这种杂质具有一个共同点就是它们在禁带内具有深能级，影响电导率，成为复合中心或俘获中心。间隙子的热平衡浓度服从玻尔兹曼分布，浓度随着温度升高而增加。