更新时间：2024-01-16 15:58
面型精度是采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征的数据。面型精度采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的干涉仪来测量，所以也称为反射面精度。面型精度的干涉条纹数的单位是[λ ]。λ是干涉仪所用的氦氖激光器的波长632.8nm。
表征面型精度有两个参数：PV和RMS值。
PV值是 Peak to Valley （峰值与谷值的差值 ），RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示。
例如：面型精度的PV值是1/4λ时，表示理想平面的最大偏差值是158.2nm。