《齐乘》共六卷,分沿革、分野、山川、郡邑、古迹、亭馆、风土、人物等八门。书前有至元五年(1339年)时任江北淮东道肃政廉访使苏天爵序,末附有于潜所作的跋、释音一卷。该志专记三齐舆地,所记以当时山东东西道所辖益都、般阳、济南三路并德州为主,并附古代曾为齐邑的高唐、禹城、长清、聊城、东阿、阳谷、临邑、齐东等县。除元至正刻本外,该志还有明嘉庆刻本及清乾隆刻本,乾隆刻本增附周嘉猷所作考证六卷。

《齐乘》为元代名志,文字简洁,体例严谨,考核精当,四库馆臣称其“叙述简核而淹贯,地志中之有古法者”。更为重要的是,于钦本为齐人,又仕于齐地,满怀乡土热情,谙熟乡土掌故。

因此，四库馆臣认为该志“援据经史,考证见闻,较他地志之但据舆图凭空言以论断者,实为详确可信,故向来推为善本”。但该志不载户口、赋役、学校等内容,是为缺憾。