齐大勇，男，1977年生，山东胶南人，工学博士，副教授，硕士生导师，现任陕西省微纳米系统重点实验室副主任。主要研究微机电系统集成设计技术、微/纳制造技术、微型光学器件和微型能源器件。先后承担国家863计划MEMS重大专项项目，国家自然科学基金SOC重大专项项目，总装武器装备创新重点基金项目，高等学校科技创新工程重大项目培育资金项目和西安应用材料创新基金项目等科研项目十余项，研制出分立式微变形镜、微型可编程光栅和微型核电池等新型微器件。近三年来在国内外重要学术刊物上共发表研究论文30余篇，被SCI、EI收录22篇，申报发明专利6项，获得省部级奖3项。