更新时间：2024-02-23 14:38
批次控制（Run-to-run control 或简记为 R2R control），又称为批对批控制，是反馈控制的一种，与迭代学习控制和重复控制有很多类似之处
批次控制（Run-to-run control 或简记为 R2R control）它通过对过程的历史批次数据的统计分析来改变下一批次的制程方案（Recipe），解决间歇过程中因缺乏在线测量手段而造成难以进行实时过程控制的问题，从而降低批次产品的质量差异。
批次控制是比较新的控制理念，在现代的半导体生产过程中有大量应用，比如在等离子体刻蚀技术中的应用。 批次控制常与人工神经网络结合使用。