1953年，设马头水乡。

1954年，属万柏林区。

1957年，属太原市郊区。

1958年，并入化客头镇。

1961年，从化客头公社析出置马头水公社，属河西区。

1963年，属郊区。

1970年，属北郊区。

1984年5月，马头水公社改马头水乡。

1997年5月，属尖草坪区。

2021年4月，撤销马头水乡，马头水乡整建制并入柴村街道。

1981年，辖柴村居民委员会，大留、呼延、营村、小石河、西张、杨家、摄乐、柴村、芮城、三给10个生产大队。

1984年5月，辖1个居民委员会、10个村民委员会。

1987年10月，增设第二居民委员会，辖2个居民委员会、10个村民委员会。

1997年5月，柴村居民委员会分设柴村镇第一居委会、柴村镇第二居委会，辖2个居民委员会、10个村民委员会。

2000年7月，辖14个村民委员会。

2001年9月，2个居民委员会合并为柴村居民委员会。

2011年末，柴村街道辖柴村1个社区，大留、呼延、西张、杨家、柴村、丙城、营村、摄乐、三给、小石河、下槐、峙头、小塔、柏崖头14个行政村。

截至2020年6月，柴村街道下辖7个社区、9个行政村。街道办事处驻迎宾北路36号。

柴村街道地处尖草坪区西部，东与向阳镇、迎新街道、古城街道隔汾河相望，南与汇丰街道、万柏林区、东社街道接壤，西、西南与万柏林区、王化街道毗连，北与阳曲县西凌井乡相交，东北与上兰街道为邻。行政区域总面积约101平方千米。

柴村街道境内河道属黄河流域，主要河道有退水渠、北干渠、东干渠、西干渠、南河。

截至2011年末，原柴村街道辖区总人口40143人，其中城镇常住人口8300人，城镇化率20.68%；原马头水乡辖区总人口5358人，其中城镇常住人口510人，城镇化率为9.5%。

根据第七次人口普查数据，截至2020年11月1日零时，柴村街道常住人口为67408人。

2011年，柴村街道有耕地面积2.1万亩。

2011年，柴村街道农业总产值2500万元，比上年增长11.7%，农业增加值占国内生产总值的38.4%。

柴村街道粮食作物以玉米为主，主要有蔬菜等经济作物。2011年，柴村街道生产粮食5562吨。蔬菜种植面积670亩，产量4250吨，主要有番茄、芹菜等品种，其中番茄1080吨，芹菜560吨。

柴村街道畜牧业以饲养生猪、羊、牛、家禽为主。2011年，柴村街道生猪饲养量6259头，年末存栏2800头；羊饲养量3751只，年末存栏3065只；牛饲养量230头，年末存栏230头；家禽饲养量5.7万羽，上市家禽5.1万羽。

2011年，柴村街道生产肉类624吨，其中猪肉485吨，羊肉64吨；禽蛋391吨，鲜奶846吨；畜牧业总产值870万元，占农业总产值的34.8%。

截至2011年末，柴村街道有林地面积1.52万亩，其中防护林6311亩，经济林8869.2亩，农民住宅四旁树木15万株，林木覆盖率70%，活立木蓄积量150万立方米。

2011年，柴村街道水果种植面积785亩，产量8200吨，主要有葡萄等品种，其中葡萄7500吨。

2011年，柴村街道工业总产值16.6亿元，比上年增长15%；工业增加值占国内生产总值的12%。有规模以上工业企业9家，职工180人，实现工业增加值8000万元，比上年增长9%。

2011年末，柴村街道有商业网点1个，职工400人。社会消费品零售总额4.87亿元，比上年增长15.2%。

2011年末，柴村街道邮政业务收入4.5万元。电信业务收入1200万元。

2011年末，柴村街道有幼儿园7所，在园幼儿1066人，专任教师73人；小学8所，在校生1761人，专任教师161人，小学适龄儿童入学率100%；初中1所，在校生1900人，专任教师154人，初中适龄人口入学率、小升初升学率、九年义务教育覆盖率均达100%；普通高中1所，在校生1031人，专任教师88人。有各级各类民办学校和教育机构4所。

2011年末，柴村街道有各类科技人才3600人，其中经营管理人才1500人，农村实用人才2100人。

2011年末，柴村街道有各类艺术表团体10个；电影院1座，座位600个，年放映150场次，观众达20万人次；文化室1个，公共图书室14个。文化行业从业人员400人。

截至2011年末，有中央、省、市、区等47个电视频道在本地落户，有线电视用户7928户，电视综合覆盖率100%。

2011年末，柴村街道有体育场地1处。100%的城市社区和90%的村安装了健身器材，经常参加体育活动的人员占常住人口的60%。

2011年末，柴村街道有各级各类医疗卫生机构21个，其中卫生院1所；病床30张，每千人拥有医疗床位0.7张专业卫生人员10人，其中执业医师4人，注册护士3人，平均每千人拥有卫生技术人员0.2人。

2011年，柴村街道医疗机构（门诊部以上）完成诊疗8000人次，出院病人60人次。

2011年，柴村街道农村安全饮用水普及率81%，农村卫生厕所普及率40%，新型农村合作医疗参合人数26900人，参合率100%。

2011年，柴村街道城镇最低生活保障户数104户，人数228人，支出53.4万元，比上年增长20%，月人均195.2元，比上年增长18%。农村最低生活保障户数74户，人数172人，支出16.4万元，比上年增长3%，月人均79.5元，比上年增长46%；农村五保集中供养7人，支出5.93万元，比上年增长16.9%；农村五保分散供养57人，支出42.57万元，比上年增长3.3%；农村医疗救助80人次，民政部门资助参加合作医疗262人次，共支出1.3万元，比上年增长20%；农村临时救助162人次，支出6.1万元，比上年增长2%。自然灾害受灾人口389人，农作物受灾面积3216.4亩，倒塌房屋12间，直接经济损失50.28万元，救灾支出10.4万元，比上年增长3%。有社区服务设施6个，其中社区服务中心1个，社区服务站1个，其他社区服务设施4个。

2011年末，柴村街道有邮政网点1个，业务收入4.5万元。有电信企业3家，服务网点5个；全年电信业务收入1200万元。

截至2011年末，柴村街道有天然气管线22千米，供气站15个，天然气用户1802户，燃气普及率为68%。

柴村街道有太原绕城高速G2003过境，设有柴村收费站。

柴村街道，因北宋时为柴姓庄子而得名。

柴村街道境内有西张石窑寺、呼延关公庙等景点。

西张石窑寺，为区级文物保护单位，位于柴村街道西张村。清康熙三十六年（1697年）、同治四年（1865年）均有修缮，现存为清代建筑。建筑布局大体为坐北朝南，依天然石洞而建，占地面积111.62平方米。正殿石砌台基，长10米，宽7.4米，高0.25米，面宽三间，平顶，前出檐，前檐设廊。寺内存清代重修碑4通，民国年间水利碑2通。

呼延关公庙，位于太原市尖草坪区呼延村，庙宇创建年代不详，现存建筑为清代风貌。整体院落坐西向东，占地面积1536平方米，呈二进院布局，其中轴线上建有正殿、过殿、山门，两侧建有耳房、厢房。