更新时间：2022-10-24 16:01
辐照对于材料和元器件（包括半导体器件和IC）产生损伤的基本机理是电离损伤和位移损伤。电离损伤主要是在半导体和绝缘体中产生电子-空穴对，需要的能量较低；而位移损伤主要是在半导体中产生晶格空位（即原子离开晶格位置后所留下的空位），需要的能量要高得多。半导体中的这些损伤也就是造成器件和IC的辐照效应的根本原因。
这是γ射线和x射线等高能量光子与固体物质相互作用时的主要损伤机理。对于光子能量超过半导体禁带宽度的软x射线（几个eV）等，可以使半导体产生本征激发——产生电子-空穴对；不同半导体的禁带宽度不同，因此产生本征激发所需要光子的平均能量也有所不同，对于Si和SiO2，该能量分别大约为3.6eV和17～18eV。如果光子能量超过此平均能量时，则在出现一次本征激发的同时还将发射出一个较低能量的二次光子，若该二次光子的能量大于产生本征激发的平均能量，则还有可能进一步产生出二次电子-空穴对。实际上，这种产生电子-空穴对的电离（本征激发）过程，也往往是高能电子和高能离子在半导体中损失能量、产生辐照损伤的重要机理。只是中子射线，对半导体所产生的电离损伤是次要的，往往可以忽略。
造成这种损伤的辐射主要是高能量、大质量的粒子流，这些高能粒子可通过弹性碰撞——Rutherford散射来使晶格母体原子发生位移。对于Si晶体，产生一对间隙原子-空位所需要的平均能量为15eV～40eV。因此，能量>170keV的电子束即可在半导体中产生一系列间隙原子和空位。一般，高能光子不能产生位移损伤；正因为如此，所以在大功率器件中可采用g射线照射来控制少数载流子寿命。
1、辐射防护标准是指导防护实践的依据是人类在不断发展核科学技术及其应用中保护自身安全的重要手段.随着核科学技术应用的日益广泛社会对电离辐射防护提出了更高要求
2、为控制电离辐射的照射和放射性物质的污染.保护职业性工作人员和居民的健康与安全所制定的各类人员他限值称为辐射防护标准.辐射防护标准分四类:基本极限、推定极限、特准极限和参考水平.
随着技术经济的发展和物质文明的提高以及法规的不断健全与完善，随着人们对辐照消毒灭菌优越性认识的不断提高，辐照加工取代化学加工已是全球性的大势所趋，前景十分光明。以食品辐照为例，食品辐照技术的开发始于20世纪40年代，世界各国众多专家、学者在辐射工艺学、辐射化学、辐射生物学、微生物学、营养学和毒理学等方面都开展了大量的研究实验工作，有关辐照食品的安全性研究成果报告达数千篇。食品辐照是一种物理加工过程，属于冷加工，低能耗，不需添加化学药物，不存在药物残留问题，能保持食品原有的色、香、味，这对风味食品以及不适于高温灭菌的食品尤为重要。联合国粮农组织、国际原子能机构和世界卫生组织共同资助，在1963年成立了“辐照食品安全性联合专家委员会”，该委员会从1963年至1980年先后多次召开会议，根据多年来的研究成果、实验积累的依据，于1980年正式向全世界提出：“任何食物受到10KGy以下照射量的辐照，都不会因辐照引起毒性危害。因此，用辐照方法处理的食物是卫生安全的，不再需要进行毒理学方面的检验，同时在营养学和微生物学上也是安全的。1997年，该委员会高剂量研究小组宣告超过10KGy高剂量辐射也是安全的。这些结论极大地推动了世界各国辐照产业的发展，现已为国际上接受。
中国也早在1958年就进行了辐照土豆的人体实验，后在国家科委和卫生部的组织领导下，“五五”期间进行了多项动物实验，包括终生和传代实验；“六五”期间进行了四百余人的人体试食实验，并制定了七项辐照食品卫生标准；“八五”期间，又在前者工作基础上进行了：（1）辐照食品类别标准的制定（粮食类、果蔬类、熟肉类、冷冻畜禽类、干果果脯、调味品味）；（2）辐照食品鉴别方法的研究。1997年6月正式颁布了六大类七大项辐照食品的国家标准。即：
《辐照熟畜禽肉类卫生标准》GB14891.1-1997
《辐照干果、果脯类卫生标准》GB14891.3-1997
《辐照香辛料类卫生标准》GB14891.4-1997
《辐照新鲜水果、蔬菜类卫生标准》GB14891.5-1997
《辐照冷冻包装畜禽肉类卫生标准》GB14891.7-1997
《辐照豆类、谷类及其制品卫生标准》GB14891.8-1997
辐照卫生标准的制订，将使食品辐照走上健康发展的道路，它对保护人们身体健康和环境不受污染，对提高产品的质量和市场竞争力有重大意义。
近年来，尤其是西方发达国家，如美国受食源性疾病的困扰使消费者对食品辐照的作用越来越认识深刻。食品的安全性和植物检疫的卫生措施是当今世界必须解决的问题，中国已经加入世贸组织，食品辐照是WTO认可的一项技术。因此，发展辐射加工，对促进中国与北美及欧共体各国的出口贸易，减少贸易风险有重大的现实意义。