此法的传来，最初是唐武后时实叉难陀译《救面然饿鬼陀罗尼神咒经》一卷和《甘露陀罗尼咒》一卷。面然就是焰口的异译。其《救面然饿鬼陀罗尼神咒经》中所说真言名变食真言。《甘露陀罗尼咒》所说真言名甘露真言。谓取一掬水，咒之十遍，散于空中，即成甘露。其后不空三藏译出《救拔焰口饿鬼陀罗尼经》，与实叉难陀所译同本。不空又译出《瑜伽集要救阿难陀罗尼焰口仪轨经》、《瑜伽集要焰口施食起教阿难陀缘由》(即前《仪轨经》前半起源分别行)、《施诸饿鬼饮食及水法》。日本所传尚有唐跋驮木阿译《施饿鬼甘露味大陀罗尼经》。

不空译《瑜伽集要救阿难陀罗尼仪轨经》中的行法次第是：

一、破地狱真言，二、召饿鬼真言，三、召罪真言，四、摧罪真言，五、定业真言，六、忏悔真言，七、施甘露真言，八、开咽喉真言，九、七如来名，十、发菩提心真言，十一、三昧耶戒真言，十二、施食真言，十三、乳海真言，十四、普供养真言，十五、奉送真言。

自此以后施饿鬼食便成为修密法者每日必行的仪式。日本入唐求法诸家曾携回有关施食饿鬼的仪轨。空海著《秘藏记》中曾解释施饿鬼法中五如来义。安然《八家秘录》有《施饿鬼法》，列诸家将来经轨八部。但是在中国却由于唐末五代之乱，随着密教失传而施食一法也失传了。

宋代诸师对于施食一法是不够了解的。在遵式《金园集》中有施食正名、施食法、施食文、施食观想诸篇。其法并非密教仪轨，只是取经中真言，附以台宗观想而已。其施食正名中说：“今吴越诸寺多置别院，有题?水陆者(中略)，有题斛食者(中略)，有题冥道者。”斛食是指焰口施食。冥道是唐代的冥道无遮大斋，也是密教行法的一种。水陆是宋代兴起的仪式。此三者在当时是混同着而无所区分的。宗晓有《施食通览》一卷，首载《救面然饿鬼经》二译，次录《涅盘经》佛化旷野鬼神缘，《鼻奈耶杂事律》佛化魔子母缘及《宝云经》中比丘乞食分施鬼畜文，次集诸家关于施食及水陆斋会之文。其中有仁岳《施食须知》一篇，也以为施旷野鬼神，施鬼子母救拔焰口饿鬼同是施食。《释门正统》卷四《利生篇》也同此说。可见宋代诸家对于焰口施食曾企图恢复而未得其道。

元代由于藏族喇嘛进入汉地，密教也随之复兴。藏经中有《瑜伽集要焰口施食仪》一卷，未注译人。就其中真言译音所用字考之，应是元人所译。其次第与不空译《救阿难陀罗尼焰口仪轨经》相同，其前增有三归、大轮明王咒、转 菩萨咒、三十五佛、普贤行愿偈、运心供养、三宝施食、入观音定，然后方破地狱。而后增尊胜真言、六趣偈、发愿回向偈、吉祥偈、金刚萨埵百字明、十类孤魂文、三归依赞。从此瑜伽施食之法得以复兴。

明代，由于诸家传承不一，各自以意增益，遂又形成杂乱。今所知者明代行法有《瑜伽焰口施食科仪》。其后天机禅师删其繁芜，成为《修习瑜伽集要施食坛仪》。世简称为《天机焰口》。天台灵操为之注，名曰《修习瑜伽集要施食坛仪应门》二卷。其中唯召请孤魂文不同。莲池袾宏又因《天机坛仪》略加参订，名曰《修设瑜伽集要施食坛仪》，略名《瑜伽集要施食仪轨》，并为之注，名《施食补注》。清康熙三十二年(1693)宝华山释德基又因袾宏本略加删辑，名为《瑜伽焰口施食集要》，世称《华山焰口》。乾隆六年(1741)宝华山释福聚又因之作《瑜伽施食仪观》。此外又有康熙十四年(1675)释寂暹著《瑜伽焰口注集纂要仪轨》。康熙二十二年刊《修习瑜伽集要施食仪轨》的跋文中说：“禀受师承不出一家，遂使流通经本大相径庭。纷纭彼此，莫知适从。”清代佛寺流行的《焰口》，多为《天机》和《华山》两种。